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  • 技术与产品

    FS-450

    产品介绍



    设备参数

    腔体

    方形:450*450*(400-800),前开门,后侧移门(接手套箱),材质:SUS304

    真空系统

    分子泵(Pfeiffer700L/S)+机械泵(10L/S),配旁抽阀. 极限真空可到2.0*10-5Pa.或其它客户要求泵组

    全量程真空计显示范围(1.0*10E5Pa-1.0*10E-5Pa),

    插板阀:HVA 6英寸/ HVA4英寸

    机架

    60进口铝型材组装,轻便,美观

    基片盘

    伺服电机控制,可在0-50转/分匀速转动,可任意角度定位.

    可装1-4块32*32基片

    配四块掩膜板(掩膜图形0-12个),

    挡板

    基片挡板为气缸+磁流体驱动,传动稳定,密封可靠

    蒸发源

    蒸发源2-16组:

    在腔体底部呈发散形分布,相互间挡板隔开,避免交叉污染

    电源

    进口TDK-Lambda系列电源.电流加热模式, 精度0.1A:

    数量:客户要求

    功率:600W, 1500W, 3000W

    软件控制

    PLC+PC机

    真空系统:可在软件界面自动,手动控制,

    蒸镀过程的各个操作环节,掩膜板更换,样品架旋转及定位,电源功率调节等均可在软件界面进行设定,实现软件控制, 

    供电:380 VAC,50Hz电源输入。

    膜厚仪

    腔体内可装1到多个晶振探头,靠近样品架中央有一个中心探头。膜厚显示精度0.01 A/S。

    显示集成在电脑控制系统内,性能相当于或优于采用国际知名品牌SQM-242 PCI卡.

    显示采用膜厚显示仪或集成在PC机内的显示卡。

    手套箱

    可选配,手套箱含水氧探头、气体循环和再生系统。水氧含量控制在小于1 ppm。

    配有EDWARDS旋片式真空泵或其它泵组

    手套箱尺寸:2400×750×900mm(长×宽×高)(可定制)

    • 产品名称:FS-450
    • 点击数:3058
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